业务范围
主营低温等离子清洗设备的研发、制造与工艺集成服务,覆盖真空式与常压式两大技术路线;面向电子制造、新能源电池、汽车线束、医疗器械等场景提供定制化清洗/活化/刻蚀工艺方案,并配套预防性维护、参数监测、环境自适应控制等智能服务模块。
核心优势
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绿色工艺
全程无化学试剂,废弃物减少95%,符合VOCs排放国标
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宽域适应
支持5–45℃环境稳定运行,湿度>80%时自动功率补偿
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智能运维
搭载温湿度联动控制与故障预诊断数据库,响应≤30秒
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高效洁净
微观级物理化学协同清洗,氧化层去除精度达3–5nm
痛点解决
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高温损伤敏感元件
低温等离子清洗(约80℃)避免热应力损伤,保障高分子与晶圆完整性
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高湿引发氧化失效
氩气等离子刻蚀提升金属氧化层去除速率20%,抑制焊点日均增厚
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粉尘静电吸附加剧
氧气活化处理降低表面电阻50%,显著改善汽车线束绝缘性能
服务流程
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1
需求诊断
结合产线环境参数与材料特性,评估清洗工艺可行性
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2
方案定制
匹配机型选型、气体组合、功率-时间参数包及防尘模块
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3
部署联调
现场安装、温湿度联动校准、关键参数基线建立
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4
智能运维
启用预防性维护套餐,接入12项实时监测与远程诊断通道
实力见证
- 30+年 技术积淀
- 5大中心 服务覆盖
- 90% 异常覆盖
- ≥88% 材料回收率
- 22% 能耗降低
资质荣誉
通过ISO9001、ISO14001、ISO45001三大管理体系认证;拥有‘环保耐用型离子清洗机’‘卧式常压等离子清洗机’等多项实用新型专利;获评科技型中小企业、产学研合作基地及‘好企业’称号。
服务承诺
坚持工艺可验证、响应可追溯、运维可量化:所有设备交付前完成环境适配测试;末伏专项服务通道保障40%响应时效提升;预防性维护套餐覆盖12项关键参数,确保制程稳定性与设备长周期运行。
常见问题
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Q:低温等离子清洗适用于哪些材料?
A:广泛适配塑料、高分子、陶瓷、金属及复合材料,尤其适合不耐高温的精密电子元件。
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Q:设备是否支持高湿度环境运行?
A:支持,配备湿度补偿系统,相对湿度>80%时自动提升功率15%,保障等离子体密度稳定。
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Q:如何保障清洗效果一致性?
A:通过变频驱动、温湿度联动控制及12项参数实时监测,实现工艺参数闭环反馈与动态校准。